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電暈電漿差異
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http://psroc.phys.ntu.edu.tw/bimonth/v28/440.pdf
電漿源原理與應用之介紹
尤其是包含了具能量的粒子,它. 們能引發許多特殊的化學與物理的反應。例如在電漿. 蝕刻技術中,正離子經由電漿鞘層(Plasma Sheath)加速. 後轟擊矽晶圓, ...
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