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微波電漿應用於分解半導體製程尾氣之研究

多，去除效果也有很大的差異，因此本研究嘗試以低溫微波電漿設備添加不同氣 ... 排放源，半導體業和光電業依製程特性之差異而排放數種全氟化物氣體，鋁、鎂.

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