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行政院國家科學委員會專題研究計畫期中進度報告

目前工業界應用之低溫電漿源型態有輝光放電、電暈放電、高週波電漿、介. 電質放電等四 ... 考量未來實際應用電漿技術於產業時，面臨因產業類別不同所可能造成的差異，.

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