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介電質常壓電漿產生器之開發及其於質譜分析之應用

電漿 放電形式的區別：. 以電漿放電形式區分可分為：. （1）直流電暈放電（DC Glow Discharge）. （2）感應耦合電漿（Inductively Coupled Plasmas, ICP）. （3）微波電漿（ ...

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