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電漿源原理與應用之介紹

摘要. 電漿科技已廣泛應用於科學研究及工業製程，成為現代科技的重要指標。本文將介紹國內在電漿源方面的研發，其中包. 括電感式電漿源，微波表面波電漿源,大氣電漿 ...

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