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子計畫三:薄膜電感於積體被動元件中之最佳材料設計 - 國立成功 ...

在這個實驗中，我們利用標準的積體電路製程製作平面螺旋型電感。為了 ... 們利用磁控濺鍍機成長不同結構的銅膜，以電阻率最低的銅膜來製作平面電感，.

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