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CN1477655A - 悬空结构射频微电感及其制作工艺 - Google

CN101170002B * 2007-09-20 2010-08-18 上海交通大学 悬空结构射频微电感及其制作方法. CN102435773A * 2011-09-28 2012-05-02 上海交通大学 用于单轴精密加速度计的 ...

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