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子計畫三:薄膜電感於積體被動元件中之最佳材料設計

但將平面電感製作在. 矽基板上時會出現幾種能量損失的機制，包括螺旋型導線金屬造成的ohmic 損失. 與矽基板在高頻率時造成的基板損失。然而減少ohmic 損失可利用導電率 ...

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