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電磁式平面微電感的製作與應用 - 台灣儀器科技研究中心

利用電鍍鎳鐵合金材料於矽晶圓上的製程方式，這. 些微電感具有高電感值及高Q 因子值，應用上有. 很大的發展潛力。 二、電磁式平面微電感的設計. 在應用平面微電感於微致動 ...

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