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電弧arc
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陰極電弧沉積(Arc) - 大永真空設備股份有限公司
其整體製程透過陰極電弧(Cathodic Arc)將欲材料原子從靶源蒸發出來,經由靶源前方之高密度電漿區,將蒸發出來未解離的中性原子解離,經由外加於基材上之負偏壓的引導,使 ...
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