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電漿源原理與應用之介紹

操作在1 大氣壓的低溫電漿製程則是現在研究的重要 ... (低電漿密度)時，射頻功率之偶合是以線圈與電漿間 ... 出而造成電弧放電；其三為氦氣具有能量較高(~20 eV).

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