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電弧效應英文
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https://patents.google.com/patent/CN102474972B/zh
用于等离子体电弧检测、隔离和预防的系统和方法
因此,人们期待找到晶片处理期间检测、隔离并预防等离子体室中发生电弧的有效方法。 ... PSIM 340还包括以霍尔效应为基础的电流传感器(Hall effect-based ...
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「電弧效應英文」
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