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第二章基本原理

以下介紹磁控濺鍍的原理，以及本實驗所採用的「非平衡磁控濺鍍系. 統」。 2-1-1 濺射原理及薄膜沉積 ... 膜設備的電源裝置須能將電弧放電現象予以控制，防止其發生。

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