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真空電弧離子源特性研究

真空電弧放電離子被覆技術已自行開發成功,真空電弧離子源由靶材表面陰極電弧點引發及 ... 利用真空電弧放電作為新的鍍膜方式,至少有下述 ... 二、眞空電弧源工作原理.

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