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電容與電阻感測器與讀取電路系統整合設計

在製作電阻感測器時需要設計懸浮結構，. 使得壓阻材料得以發生形變。 二、CMOS-MEMS 技術. 一個完整的感測系統包含感測與處理的功能，.

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