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掃描電容顯微鏡分析技術及其在矽晶圓表面分析之應用

掃描電容顯微鏡為掃描探針顯微鏡的一種，具備二維載子濃度分析的優異能力，近年來更因 ... 針、超高頻共振電容偵測器及電容計算電子系統等.

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