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Electrical and reliability analysis for GDH High-k Films after ...

表明，HfO2 通过稀土元素（例如Gd2O3）掺杂能有效地提高结晶温度，并且Gd2O3/Si 界面 ... 图2 快速热退火前后GDH 薄膜电容-电压（C-V）曲线，曲线的扫描频率为1 MHz。

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