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駐極體電容式矽晶微音器振膜之模態分析與製作方法

本論文主要針對電容式矽晶微音器(Silicon Condenser Microphone). 振膜之機械特性作一探討。由於影響微音器感度的最主要因素是振膜. (Diaphragm)的機械感度(Mechanical ...

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