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CN103018289A - 一种电容式湿度传感器 - Google Patents

当湿度敏感应变层吸湿后，其形状会发生变化，进而引起悬臂梁结构状的检测电容发生形变，此时，介质层也会产生形变，由于电致伸缩增强效应，介质层的介电常数也会发生相应 ...

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