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小量程MEMS電容式壓力感測器探究 - 贊遊戲

因此，要實現小量程壓力測量，不僅需要在小體積約束條件下改變電容式感測器的結構來提高電容輸出，以削弱雜散電容的干擾和降低測試電路的複雜性，還需要最佳化測量電路 ...

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