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圖3A

該膜片由於該參考壓力及該感. 測器周圍的環境壓力之間的差異而變形。藉由電容式或壓阻式感測,該膜. 片的位移可被轉換成一電信號。 【0005)-MEMS 壓力感測器結構典型地 ...

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