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題目：微機電壓力感測器電路設計分析與測試

第三章壓阻式壓力感測器原理 ... 【4-7】與電容式【8-9】。 ... 分為壓阻式(piezoresistive)、壓電式(piezoelectric)及電容式(capacitive)等三種類.

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