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具微針結構電容式流量感測器應用於器官晶片微流道系統

1.2.2 微流道流量感測器 7 1.2.3 壓力感測器 15 1.3 研究動機與目的 26 1.4 論文架構 27 第二章 感測原理與元件設計分析 29 2.1 電容式感測基本原理 29

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