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壓電式壓力感測器和壓阻式壓力感測器的區別 - 知識的邊界

壓阻式壓力感測器採用單晶矽片為彈性元件，在單晶矽膜片上利用積體電路的工藝，在單晶矽的特定方向擴散一組等值電阻，並將電阻接成橋路，單晶矽片置於感測 ...

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