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科普：MOM，MIM和MOS电容有何区别？ - IC智库/微电子 ...

MIM电容的缺点：在65nm工艺下，即便用上9层金属和Poly去构建MIM，其单位面积电容也只有（1.4fF/微米平方），而寄生电容Cp可以达到总电容的10%。

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