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掃描式電子顯微鏡檢測分析設備 - 工業技術研究院

場發射掃描式電子顯微鏡（FE-SEM）JEOL JSM-6500F · EDS用於成份分析，包括定性、半定量、特定區域化學元素之mapping及line scan等。 · CL用於發光光譜量測、影像分析、微量 ...

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