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看到了！電子與光子顯微術讓原子現形 - 科技魅癮

電子顯微鏡 具有解析度的優勢，不過半導體廠仍然大量仰賴光學顯微鏡。朱明文研究員說，電子顯微鏡在半導體廠的角色「有點像是最終的解決方案」。

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