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什麼是SEM?淺談掃描式電子顯微鏡技術|
電子 與樣品的相互作用可導致產生許多不同類型的電子、光子或輻射。在SEM的情況下,用於成像的兩種電子是背向散射(BSE)和二次電子(SE)。
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