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Scanning Electron Microscopy - 掃描式電子顯微鏡 - 國家教育 ...

名詞解釋: 主要用於觀察固體表面次微米尺度之物理結構，其構造如下圖所示。掃描式電子顯微鏡所產生之訊號為電子束（非一般光譜法中之光束）被分析物激發所致。

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