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掃描電鏡原理/掃描電子顯微鏡原理

入射電子擊中原子核而被反彈出來，稱為“背散電子”。二次電子能量很低，只有50eV，因此只有樣品表面5~10nm深度範圍所產生的訊號能被偵測。背散 ...

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