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國立臺灣師範大學機電科技學系碩士論文指導教授：劉傳璽博士 ...

在元件上方沉積一層Nitride 接觸蝕刻停止層，其結構SEM 圖如圖2-29. 所示；利用CESL 應力源的拉伸或是壓縮應力分別用以改善通道中之電子與. 電洞遷移率。如同2.3.3 節所述 ...

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