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Airiti Library華藝線上圖書館_氧電漿處理閘極優先具有氮化銦鎵 ...

本論文嘗試使用氧電漿處理法(oxygen plasma treatment)製程鈍化p型氮化鎵的效果來製作高電子遷移率電晶體(High Electron Mobility Transistor, HEMT)以及發光高電子 ...

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