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化学试剂中的电子级什么意思?电子级分为：EL级、UP级 - 作业帮

电子化学 试剂按照纯度分为UP—S级、UP级、EL级三个等级. UP-S级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤,控制0.2微米粒子, ...

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