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利用矽晶片製造與整合微系統的思維與架構

如今，微電子產品幾乎無孔不入地影響到生活的每一個面向，而這不過是把電子這一部 ... 其中最明顯的例子就是微致動器，在微機電領域裡，靜電致動器或式熱致動器取代了 ...

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