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X光光電子能譜儀(XPS) - MA-tek 閎康科技

... 形成光電效應，將內層軌域的電子激發產生光電子，只有在樣品表面所產生的光電子才能脫逸出而被測得，此被激發的光電子經偵檢器分析後，可測得光電子束縛能的能譜； ...

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