蕭中剛、余佳迪、劉鈞傑、鄭技師、徐英洲、徐強、葉日宏、章家銘 ... 離子佈植機(ion implanter)又稱為離子注入機,乃一可將能量為數萬電子伏特(數十 keV)至數十萬電子 ...
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