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加速電壓在掃描式電子顯微鏡的作用|

樣品的化學成分也會影響相互作用區域的範圍：輕元素的殼外電子層數較少，電子能量較低。與重元素的樣品相比，電子束對輕元素樣品穿透的更深。

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