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濺鍍(Sputtering)原理- 大永真空設備股份有限公司

電漿的產生是在真空下，藉由施加高偏壓於金屬板，此為陰極，而相對此電極包括桶身皆為陽極，通入的惰性氣體如Ar、N2、O2…等受到高的電壓差下，使得外層電子受到高的 ...

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