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高介電絕緣層對先進金氧半場效應電晶體元件影響之研究

et al, 2007]，基於這些良好特性，我們將深入研究並驗證其產生的物理現象及相關電場影. 響。 關鍵字：短通道效應、高介電絕緣層、閘極漏電流. ☆. 通訊作者.

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