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多孔矽橫向感測器之研製及其電漿改質之研究 - PCCU

利用多孔隙薄膜高反應性及靈敏度的優點，針對不同的液體甚至氣體及其不同 ... 關鍵字：多孔矽、多工感測、指叉式、薄膜、電化學蝕刻 ... (1)應用物理原理.

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