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壓力感測器之模擬分析與元件設計 - 心得報告

電容式壓力感測器主要是利用平行電容板的原理，當感測器上隔膜受壓力而變形時，其 ... 而後T. N. Jackson等人在1981年利用電化學蝕刻停止（Electrochemical etching ...

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