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壓電陶瓷驅動器的位移測量

等方面，加工精度不斷提高，要求微小位移精 ... 轉子的機理，壓電驅動器是利用壓電陶瓷材料 ... 利用壓電. 陶瓷作為核心驅動部件的壓電驅動器具有低速.

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