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超短脈衝雷射技術在半導體晶圓中的應用 - 每日頭條

其原理是將短脈衝激光光束透過切割材料表面聚焦在材料中間，由於短脈衝雷射瞬時能量極高，在材料中間形成改質層，然後通過外部施加壓力使晶片分開。中間 ...

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