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雷 射 應用 半導體
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超短脈衝雷射技術在半導體晶圓中的應用 - 每日頭條
其原理是將短脈衝激光光束透過切割材料表面聚焦在材料中間,由於短脈衝雷射瞬時能量極高,在材料中間形成改質層,然後通過外部施加壓力使晶片分開。中間 ...
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