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把光刻机做成「光刻工厂」，国产方案的脑洞究竟有多大？_光源

如果光源的波长越短、功率越大，这样的“光刀”就更加锋利，“雕刻”出来的电子线路图也就更加精密，芯片的性能与算力也就越强。目前，波长仅为13.5nm的极 ...

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