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快速退火:介紹,脈衝雷射退火,電子束退火,工藝 - 中文百科全書

快速熱退火是用各種熱輻照源，直接照射在樣品表面上，迅速將樣品加熱至700~1200℃左右在幾秒~幾十秒的時間內完成退火。 它與常規熱退火相比，有下列優點：樣品在相同的 ...

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