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雷射退火原理
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教學設備 - 屏科材料
根據離子濺射原理進行薄膜製程。 ... 連續式雷射CW Laser (1064 nm). 圖片4. 根據所需條件可以升溫速率、持溫時間等參數對樣品進行退火處理。
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