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雷射退火原理
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超短脈衝雷射技術在半導體晶圓中的應用 - 數位感
另外雷射還在鑽孔、劃線、退火等工序取得不錯的應用成果。 ... 其原理是將短脈衝激光光束透過切割材料表面聚焦在材料中間,由於短脈衝雷射瞬時能量極高,在材料中間 ...
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