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雷射退火原理
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快速升溫製程處理(RTP) - 半導體
選擇哪種技術取決於許多因素,包含元件在製程中的特定要求,如對特定溫度及其暴露時間的容忍度。應用材料的燈泡式、雷射式和加熱器式系統產品採用全方位退火技術,對於先進 ...
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