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雷射退火原理
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雷射退火技術,在半導體工業界有這麼多應用? - 資訊咖
雷射退火 一個顯著的特徵是,在超短的時間內(數十到數百納秒量級)將高能量密度的雷射輻照(若干J/cm2)投射在退火樣品一個小區域內,使得樣品表面的材料 ...
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