重複頻率(KHz), 20-80, 30-80, 40-120. 脈衝寬度(ns), -, -, -. 雷射波長(nm), 1064, 1064, 1064. 雷雕範圍(mm)(註1), 110×110, 110×110, 110×110. 最小線寬(um)(註2) ...
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